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华润微立足功率器件,推动国产化进程


和国内多家拥有半导体制造业务的公司相比,华润微的发展动态可以说是全方位的;在热门话题:如何抗疫努力逐步恢复生产,华润微电子当仁不让的成为头号研究对象。华润微在参与研发的项目获得国家级以及省级项目,通过内部架构改革让集团总部实体化,A股科创板上市并拟定首个30亿8寸线募投项目,重庆12寸产线扩建,各方面齐头并进

20191月,重庆华润微功率半导体技术创新中心揭牌,全面布局功率半导体前瞻性领域的研究,聚焦LVMOSSGMOS等及其模块的研发,具体表现为建设高性能计算与仿真设计平台、一流的功率电子器件可靠性测试平台,并争取在今年年底前获得国家级企业研发中心认定。

华润上华参与的“高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用项目1月10日上午国务院在北京举行的国家科学技术奖励大会上获国家科学技术进步奖二等奖。江苏省政府发布了《关于2019年度江苏省科学技术奖励的决定》,华润上华参与的智能功率驱动芯片设计及制备的关键技术与应用课题成为45个荣获江苏省科学技术一等奖项目之一。华润微电子真正做到了“科技是第一生产力” 。

华润上华更是与东南大学、江苏英特神斯、东南大学、无锡芯朋微、无锡新洁能合作两个项目,并成功完成。项目分别为高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用”、“智能功率驱动芯片设计及制备的关键技术与应用”。
高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用针对我国微机电系统(MEMS)产业链关键技术问题,开发了MEMS设计技术与设计工具、制造工艺和在线检测以及高性能压力传感器技术,推动了我国MEMS技术产业化的发展。

 “智能功率驱动芯片设计及制备的关键技术与应用成功构建了智能功率驱动芯片的完整技术链,实现了芯片的自主设计与制备。项目涉及多方面的技术,包括高低压兼容工艺技术、抗瞬时电冲击电路技术、低损耗功率器件技术及高功率密度集成互联技术等;其中核心技术已获得中国发明专利118项(合计)、美国专利8项;在600V~1000V多电位浮置衬底高低压兼容技术、抗瞬时电冲击电路技术方面达到国际领先水平。

这两个项目成功研制了高精度硅各向异性腐蚀模拟、厚胶光刻工艺模拟、工艺流程模拟等11个软件模块,并实现了商业化;国内用户40余个,远销美国、日本等。关键技术已用于华润上华规模化生产线,形成批量生产能力并为国内外用户代工超过10万片,为压力传感器系列、麦克风系列等MEMS器件生产提供强力的技术支持。产品已在智能电子、工业控制、环境监测等领域得到广泛应用。首次开创基于P-Sub/P-Epi600V-1000V多电位浮置衬底高低压兼容工艺平台,发明了双条状N阱辅助耗尽型Divided-RESURF隔离结构和低损耗“U-shape”沟道600V SOI-LIGBT功率器件。该技术平台在为公司各类高可靠的智能功率驱动芯片产品提供工艺技术支持的同时,为多家国内外公司提供代工服务。

 

涉及华润微功率半导体、智能传感器与智能控制领域三大主流业务可以这么说,华润微内部组织改革及科创板股市升值点均与此有关。华润微电子代工事业群总经理苏巍表示:“集成电路国产化蕴含着巨大的机会,华润微电子在支持公司产品业务发展的同时乐于与本土产业链合作伙伴携手研发新的技术,提供特色的工艺平台,与客户共同布局中国半导体市场热点。